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高溫真空氣氛電阻爐設(shè)計作為間歇性窯爐之一，用于長期在1600℃工作條件下對氮化鋁、氮化硅和氮化硼等陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、器件、金屬材料的低真空、保護性氣體的還原性熱處理；也可用于特殊材料的熱處理，如碳制品的碳化工藝研制之用。該爐采用金屬殼體全外密封方式，爐殼雙層設(shè)計，夾層水冷結(jié)構(gòu)，優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒加熱，進口程序控溫儀控制，溫控儀可設(shè)定64段升溫曲線、P、I、D控制參數(shù)自整定、并具有超溫、過流、斷偶等報警保護功能。爐體采用真空吸附無機超輕質(zhì)氧化鋁纖維材料，具有熱容小、溫度升降控制靈活、節(jié)能等特點，設(shè)備配備真空泵，可預(yù)抽真空。非常適合于試驗和小批量生產(chǎn)之用。